南北朝时，佛冈南部属浮护县、北部属浈阳县。
隋唐时，属清远英德；
清雍正九年（1731年）在大埔坪（原属清远县，今石角镇府城附近）设捕盗同知，辖清远、英德、从化、花县（今花都市）、长宁（今新丰县）、广宁6县捕务，但不负责地方行政事务。乾隆七年（1742年），六县捕务归各县负责，大埔坪捕盗同知仍保留。
嘉庆十八年（1813年），划出清远县吉河乡（今水头、石角、三八、龙南、黄花镇）和英德县大陂六乡，即白石乡（今烟岭镇）、迳头乡（今迳头镇）、独石乡、观音乡、高台乡、虎山乡（均在今高岗镇内），建立佛冈直隶军民厅，简称佛冈厅，直隶于广东布政使司，佛冈地方一级政权开始建立。光绪年间佛冈厅属广肇罗道辖。
民国初年，佛冈仍称厅，属粤海道辖。
民国3年（1914年）6月3日，撤厅改县，始称佛冈县。
民国9年（1920年），废除道的设置，佛冈县改属中区绥靖公署辖。
民国17年（1928年），属北江善后公署辖。
民国25年（1936年）7月，属广东省第二区行政督察公署（即韶关公署）辖。
民国32年（1943年），属第五区行政督察专员公署辖。
民国35年（1946年），全省成立4个师管区13个团管区，佛冈属粤北师管区辖。
民国36年（1947年），全省划分11个专署督察区，佛冈属第二专署督察区辖。
1949年10月12日，佛冈县全境解放，佛冈县属北江临时行政委员会（1950年4月，改称北江专员公署）辖。
1952年4月13日，佛冈县与从化县合署办公，佛冈只设办事处。时年10月，分县办公，佛冈县仍属北江专署（1953年，北江专员公署改称粤北行政公署，1956年，改称韶关行政公署）辖。
1958年10月23日，佛冈县与从化县合并，称从化县，属韶关行政公署辖。
1959年1月，从化县划归佛山专署辖，1960年4月11日又划归广州市辖。
1961年5月4日，原佛冈县辖区由从化县分出，恢复佛冈县建制。
1963年6月15日，佛冈县划归韶关专区辖。
1983年7月26日，佛冈县划归广州市辖。
1988年1月7日，佛冈县划归清远市辖。
