秦汉时属南海郡的揭阳县。
晋咸和六年（331年）南海郡分出东官郡，澄海属东官郡（后改义安郡）的海阳县。
隋、唐时属海阳地域。
宋宣和三年（1121年），
因割海阳县永宁、崇义、延德3乡置揭阳县，原澄海县的蓬州、鳄浦、鮀江3都，为揭阳县所辖；上、中、下外莆和苏湾4都，仍属海阳县所辖。
明成化十三年（1477年），析海阳县太平乡之宣化、信宁，光德乡之氵恋州、清远、弦歌，怀德乡之秋溪、隆眼城、苏湾等8都新置饶平县，其时苏湾都属饶平县所辖。此时澄海地域分属海阳、揭阳、饶平3县。明嘉靖四十二年（1563年）正月二十八日，割海阳县怀德乡之上外莆、中外莆、下外莆3都，揭阳县延德乡之鮀江、鳄浦、蓬州3都，饶平县之苏湾都共7都，置澄海县，隶属潮州府，其县治设于下外莆之辟望村（今澄城）。
清康熙五年（1666年），澄海因朝廷靖边海禁迁界而裁撤，这是澄海历史上第一次撤县。至康熙八年3月，澄海才恢复建制。复县后，疆界一直不变。清咸丰八年（1858年），辟鮀浦司之“沙汕头”为通商口岸，称“汕头埠”，属澄海县鮀浦司管辖。
民国元年（1912年），澄海县成立澄海县政府，隶属广东省都督府。
民国三年，澄海县隶属潮遁道。
民国九年，隶属潮海善后处。
民国十年，汕头成为独立城市，遂与澄海分治。
民国十四年，隶属东江行政善后处，后改为东江行政委员公署；民国十七年，隶属东江善后委员公署。
民国二十一年，隶属东区绥靖委员公署。
民国二十五年，隶属广东省第五区行政督察专员公署。
民国二十八年七月，日本侵略者于澄城设立伪澄海县治安维持会，民国二十九年一月，改为伪澄海县政府。
民国三十六年，广东省第五区行政督察专员公署会同汕头市政府、澄海县政府勘定划大窖以南地方，韩江东岸之华坞、龙眼、长厦、新湖、陵海等村归汕头市。日本投降后，第五区行政督察专员公署改为第六区。
民国三十八年四月，广东全省扩编为15个行政区，潮汕各县划为第七、第八两个行政区，澄海属第八个区行政督察专员公署。
1949年10月25日，成立澄海县人民政府，隶属潮汕临时专员公署。
1950年2月起属潮汕区行政督察专员公署，10月起属潮汕专员公署。
1952年，澄海县隶属广东省粤东行政专员公署。
1955年3月14日，澄海人民政府改为澄海县人民委员会。
1956年，澄海县隶属汕头专员公署。
1958年9月12日，成立澄海县人民公社，实行政社合一体制。
1959年1月24日，澄海县建制撤销，县地并入汕头市郊。同年11月13日，澄海县恢复建制，复称澄海县人民委员会。“文化大革命”期间，1967年3月25日，成立澄海县军事管制委员会，1968年4月5日，成立澄海县革命委员会，先后隶属汕头地区军事管制委员会、革命委员会。
1980年1月1日起，属汕头地区行政公署管辖。同年12月21日，撤销澄海县革命委员会，恢复澄海县人民政府。
1983年12月起实行市管县，澄海县归汕头市管辖。
1994年4月18日，撤销澄海县建制，设立澄海市（县级），由汕头市委托代管；澄海县人民政府改称澄海市人民政府。2003年1月29日，撤销县级澄海市，设立汕头市澄海区，归属汕头市管辖，原行政区域划出新溪、外砂两个镇归汕头市龙湖区；澄海市人民政府改称汕头市澄海区人民政府。
