秦汉属太原郡。
汉武帝元朔四年（前125年）置河西郡，为河西郡宣武县地。
西晋末刘渊据离石，其地属刘渊。
南北朝时属北魏。
唐隶太原，为岚州宜芳县地。
五代北汉刘崇置雄勇镇，属岚州。
宋太平兴国七年（982年）建火山军，同下州，领雄勇、偏头、董家、横谷、桔槔、护水六寨。庆历初（1041年）增领下镇寨。治平四年（1067年）置火山县为“倚郭”。熙宁四年（1071年）废，属代州。
金贞元元年（1153年），置河曲县。大定二十二年（1182年）升为州，后更名隩州。兴定二年（1218年）九月改隶岚州。四年（1220年）迁治黄河滩许父寨。
元宪宗七年（1257年）省州县入保德州。
明洪武二年（1369年）仍置县。六年（1373年）省，十四年（1381年）复置，隶太原府，别号荧台。编户7里。
清朝仍旧。顺治二年改为5里。东西广97里，南北袤180里。旧治在太原府西北480里。雍正二年（1724年），改隶保德州。乾隆二十九年（1764年）迁治河保营。
民国三年（1914年）置道，属雁门道；民国十六年（1927年）废道，直属山西省；民国二十六年（1937年），全省划为七个行政区，河曲属第二行政区；民国二十九年（1940年）2月解放，属第二游击区行署二专区；民国三十年（1941年）8月属晋西北行署二专区；民国三十二年（1943年）11月，属晋绥边区行署二专区；民国三十四年（1945年）9月，属晋绥边区雁门行署二专区；民国三十五年（1946年）6月，雁门行署撤后直属边区行署。
1949年2月属陕甘宁边区晋西北行署二专区；9月，山西省人民政府设忻县专员公署，河曲隶之。
1952年，划归忻县专员公署。
1959年1月，河曲、偏关、保德合并为“河曲县”，驻巡镇。
1959年7月1日又分三县，恢复原建置，此段属晋北专员公署。
1961年，晋北专署撤，河曲复归忻县专员公署。
1967年属忻县地区革命委员会。
1979年属忻县地区行政公署。
1983年，改为忻州行署，河曲仍隶之。
