硅化,作用,工艺,生产工艺,有机硅，硅化,作用,工艺,生产工艺,有机硅，1. 硅化物工艺二氧化硅膜（SiO2）由于具有理想的绝缘性能以及其致密的结构，在IC制造工艺中，可用于多层互联线的隔离以及掺杂时的掩蔽阻挡，具有广泛的应用。二氧化硅绝缘隔离阻挡SiO2膜是集成电路制造工艺中一种广泛应用的薄膜材料，随着集成电路工艺的迅速发展及对器件可靠性要求越来越高，工艺中，对SiO2膜的质量要求也越来越高，其...
有机硅高分子，有机硅高分子,youjigui gaofenzi，高分子,有机硅,gaofenzi,youjigui，[拼音]：youjigui gaofenzi[外文]：organosilicon polymers主链含有硅原子的高分子化合物。目前最主要的有机硅高分子是聚硅氧烷（结构式如左上），它的主链是硅氧交替结构，在硅原子上带有有机基...