光刻,光刻,guangke,光刻,guangke,[拼音]:guangke[外文]:photoetching利用照相复制与化学腐蚀相结合的技术,在工件表面制取精密、微细和复杂薄层图形的化学加工方法。光刻原理虽然在19世纪初就为人们所知,但长期以来由于缺乏优良的光致抗蚀剂而未得到应用。直到20世纪50年代,美国制成高分辨率和优异抗蚀性能的柯...
光刻技术,光刻技术,guangke jishu,光刻,技术,jishu,guangke,[拼音]:guangke jishu[外文]:photo lithography集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形...