半导体化学

[拼音]：bandaoti huaxue

[外文]：semiconductor chemistry

研究半导体材料的制备、分析以及半导体器件和集成电路生产工艺中特殊化学问题的物理化学分支学科。它是1948年发明晶体管以后才诞生的。

半导体材料是结构敏感的材料。其内部或表面上晶体的不完善性(如晶体缺陷、位错等)或微量杂质的存在都可以显著地改变材料的物理性能。这就决定了半导体化学的一系列特点，如高纯物质的制备、完善单晶体的制取、完善单晶层的生长、微量杂质有控制地掺入、超纯物质的分析等。

50年代半导体材料以锗为主，到了60年代，硅已占据了该类材料中的统治地位。预计这种状况在20世纪内不会改变。因此，目前半导体化学的主要内容是以硅为中心展开的。其他研究较多并已得到应用的材料还有化合物半导体，如砷化镓。

70年代以来，无定形半导体（玻璃半导体）的研究有了重要的进展，这是一类有前途的半导体材料。对于有机半导体和高聚物半导体也一直在进行探索性的研究。无疑，这些研究工作将会不断地为半导体化学增添新的内容。

参考书目

李家植编：《半导体化学原理》，科学出版社，北京，1980。